[지디넷코리아]
HB솔루션과 프로이천이 올레도스(OLEDoS) 웨이퍼 검사방법 특허 2건을 지난 8월 지식재산처에 함께 등록했다. 올레도스는 실리콘 기판 위에 유기발광다이오드(OLED)를 증착하는 기술이다. 확장현실(XR) 기기에 적용할 수 있다.
HB솔루션과 프로이천, 그리고 이엘피 등은 산업통상부 국책과제 ‘인공지능(AI)을 활용한 올레도스 디스플레이용 원장 동시 검사기술 개발’을 수행 중이다. 전체 연구기간은 2025년 4월부터 2027년 12월까지다. 연구비는 2025년과 2026년 각각 19억원씩이다. 수요기업은 삼성디스플레이, 과제관리기관은 한국산업기술진흥원(KIAT)이다.
과제 주관기관인 HB솔루션은 장비와 검사 기술을 맡았다. 공동연구개발기관인 프로이천은 프로브 카드, 이엘피는 패턴 제너레이터를 개발한다. 3곳이 컨소시엄을 구성했다.
HB솔루션과 프로이천이 함께 등록한 특허 2건은 ‘이격 배치된 복수 라인 프로브를 이용한 올레도스 웨이퍼의 고속점등 검사방법'(등록번호 3006401, 아래 ‘401 특허), ‘웨이퍼 검사기의 프로브 충돌 방지장치 및 그것을 이용한 웨이퍼 검사방법'(등록번호 3013860, 아래 ‘860 특허) 등이다.
‘401 특허는 올레도스 웨이퍼의 점등 검사와 불량 분석을 위한 고속 프로브 테스트 기술이다. ‘860 특허는 웨이퍼 검사 과정에서 프로브 헤드와 광학비전 유닛 등 장비 충돌을 방지하고 정확한 위치에서 점등 검사를 수행하기 위한 기술이다.
연구목표는 “올레도스 디스플레이용 원장 동시 점등 검사 기술과 AI 딥러닝 검사 시스템 개발”이다. 디스플레이 패널을 원장 단계에서 검사하면 불량 패널을 일찍 검출해 불필요한 후공정, 검사 공정을 생략할 수 있다. 여러 셀을 동시에 점등·검사하면 검사시간이 짧아진다.
수요 기업인 삼성디스플레이의 연구내용은 성과 평가와 상용화, 프로젝트 목표와 기술 요구사항 설정, 중간성과 평가 후 피드백 제공, 개발 기술이나 제품 실제 활용과 상용화 추진 등이다.
한편, 프로이천은 중소벤처기업부 국책과제 ‘8.6세대 OLED 패널 검사용 스마트 프로브 개발’도 수행 중이다. 과제 수행기간은 2023년 7월부터 2027년 7월까지다. 연구비는 2023년 3억원, 2024년 4억원, 2025년과 2026년 각 6억원씩이다. 과제관리기관은 중소기업기술정보진흥원이다.
프로이천의 해당 과제 연구목표는 “8.6세대급 OLED 원장 패널 자동검사용 스마트 프로브 개발과 사업화”다. 연차별 개발내용은 “2026년(4차년도) 삼성디스플레이 양산 납품 및 검증”, “2027년(5차년도) BOE 디스플레이 패널 제조라인 테스트와 사업화” 등이다. 사업 종료 후 1년 안에 BOE에 양산 납품하는 것도 주요 목표다.